PINUS1-B

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驱电机结构,全新的IO???,具有先进的防碰撞?;すδ芗笆淙胄藕胖в布卸瞎δ?,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

简介

Introduction

直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO???,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞?;すδ?,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能??梢愿菘突вτ玫奶厥庖?,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。


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参数

Parameter

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